니콘, FPD용 외관 검사장비시장 진출

　일본 니콘이 대형 플랫 패널 디스플레이(FPD)용 외관검사장비 시장에 진출한다.

　「일경산업신문」에 따르면 니콘은 렌즈 개발과정에서 축적한 현미경 기술과 웨이퍼 외관검사장비 개발에서 얻은 노하우를 집적한 FPD 외관검사장비를 이르면 다음달 중 시장에 내놓을 계획이다.

　내달 출하가 계획된 니콘의 첫 FPD 외관검사장비는 대형 플라즈마 디스플레이 패널(PDP)용 검사현미경시스템으로 모델명은 「VI 800(가칭)」이다. 이 시스템은 자사가 현재 LSI 검사현미경에 사용하고 있는 「CF&IC 광학계」라는 독자 구조를 채택하고 있으며 외관검사성능도 LSI외관검사장비와 비슷해 0.25㎛까지 가능하다.

　니콘은 이 제품을 시작으로 FPD용 외관검사장비를 새로운 주력사업으로 육성해 나갈 계획이다.

　이 시장은 TFT LCD·PDP로 대표되는 FPD시장의 급속한 확대에 힘입어 당분간 성장세를 보일 것으로 전망되고 있다.

　니콘은 스테퍼 부문 일본 최대업체로 광학기술을 살린 LSI검사용 현미경과 측정기 등 다른 반도체관련장비분야에도 진출해 있다. 그러나 이들 제품군이 지난 몇 년간의 반도체 불황으로 매출이 악화됨에 따라 신규사업 진출을 검토해왔다.

<심규호기자 khsim@etnews.co.kr>