케이씨텍, 반도체 세정용 초순수 등 자동 혼합 "약품 공급장치" 출시

　반도체 장비업체인 케이씨텍(대표 고석태)은 사전 약품 혼합 기능이 부가된 새로운 개념의 약품공급장치를 개발, 이의 본격적인 공급에 나선다.

　이번에 개발된 장비는 반도체 세정 및 식각 공정에 사용되는 불화수소산(HF)과 초순수(DI Water)를 일정 비율로 자동 혼합한 후 이를 공정 장비에 공급해주는 일종의 주변 설비로 반도체의 고집적화에 대응한 미세 약품 조절 기능을 구현한다.

　이 장비는 또한 다양한 약품 조절 기능을 통해 혼합 비율을 수시로 변경할 수 있도록 함으로써 약품 혼합 비율 변경시 장비 교체 및 개조에 따른 불편함을 해소했다.

　케이씨텍 측 한 관계자는 『기존 장비와 달리 사전 혼합이라는 새로운 개념이 적용된 초정밀 약품공급장치를 국내 독자 기술로 개발 성공함으로써 본격적인 국산 대체는 물론 장비 수출도 가능하게 됐다』고 강조했다.

<주상돈기자 sdjoo@etnews.co.kr>