케이씨텍, 실리콘 캐소드 개발

　반도체 장비업체인 케이씨텍(대표 고석태)은 반도체 제조과정 중 에칭공정에 사용되는 필수 소모품 가운데 하나인 실리콘 캐소드(Cathode)를 개발, 이의 본격적인 공급에 나선다.

　캐소드는 반도체 식각과정 중 웨이퍼 위에 부착돼 공정가스를 일정하게 분사시키는 기능과 함께 플라즈마를 발생시키는 전극의 역할도 수행하는 소모성 제품이다.

　특히 이번에 개발된 실리콘 캐소드는 기존 아모퍼스 카본 재료 대신에 웨이퍼와 같은 소재인 실리콘 단결정으로 만들어져 0.18미크론 이하의 초미세 반도체 회로공정에까지 적용 가능하다.

　케이씨텍은 실리콘 캐소드의 설계 및 제작과 관련된 각종 장비까지 이번에 국산화했으며 현재 이 제품과 관련해 기술특허 2종을 국내외에 출원중이다.

　이를 통해 케이씨텍은 현재 개당 1천만원을 호가하고 있는 외산 실리콘 캐소드 제품보다 훨씬 저렴한 가격으로 국내 시장에 공급, 그동안 전량 수입 사용돼온 이 제품을 국산으로 적극 대체해 나갈 방침이다.

<주상돈기자 sdjoo@etnews.co.kr>