미래로시스템, 웨이퍼 결함 분석시스템 개발

　산업용 소프트웨어 개발 전문업체인 미래로시스템(대표 김문)이 반도체 제조과정 중 발생하는 웨이퍼상의 각종 결함 데이터를 종합적으로 관리·분석해주는 통합시스템 「MIDAS」를 개발, 본격적인 공급에 나선다.

　이 시스템은 광학스코프·전자현미경(CD-SEM) 등과 같은 각종 웨이퍼 결함 검사용 장비에 부착돼 온라인상으로 전송되는 결함 데이터를 체계적으로 분석, 불량 요인을 판별한 후 이를 다시 영상 이미지 형태로 관리한다.

　서버용 하드웨어 장치와 분석 소프트웨어, 그리고 영상 이미지 터미널 등 총 3개 시스템으로 구성된 이 제품은 웨이퍼 결함 데이터에 대한 빠른 원인 분석을 위해 다양한 통계 작업 및 실시간 모니터링 기능을 제공하며 현재까지 출시된 대부분의 웨이퍼 결함 검사용 장비에 부착 가능하다.

　특히 발생된 각종 웨이퍼 결함의 개수나 밀도가 차트는 물론 웨이퍼 지도 형태로도 출력되며 반도체 회로의 레이어(Layer)별 결함 데이터를 동시 출력, 해당 부분의 결함 이미지를 영상 형태로 직접 확인해 볼 수 있는 기능도 제공한다.

　김문 사장은 『이번에 개발된 MIDAS는 생산공정별 결함 데이터를 체계적으로 분석, 네트워크를 통해 이를 처리하고 불량 요인을 신속히 찾아냄으로써 반도체 제조 공정의 전체적인 생산성 향상에 큰 도움이 된다』고 강조했다.

<주상돈 기자>