어플라이드, 구리 공정용 종합 솔루션 공급

　반도체 장비 공급업체인 어플라이드머티리얼스는 차세대 반도체 제조기술인 구리(Copper) 배선공정에 적용 가능한 종합적인 장비 솔루션을 내년 상반기부터 본격 공급할 계획이라고 18일 밝혔다.

　어플라이드가 출시할 이 제품은 구리 제조 공정 도입시 구리를 완벽하게 저장할 수 있도록 하는 배리어(Barrier)층 및 시드(Seed)층의 도포에서부터 증착·에칭·패터닝에 이르는 종합적인 공정을 수행하는 구리 배선 공정용 토털 솔루션이다.

<주상돈 기자>