[특집-SEMICON WEST 98] 주요업체 출품작.. 화학증착장비

어플라이드머티리얼즈 "화학증착장비"

세계 최대 반도체장비 업체인 어플라이드머티리얼즈는 기존 장비의 생산성을 획기적으로 향상시킬 수 있는 새로운 공정 플랫폼을 채택한 최신 플라즈마 방식 화학증착(PECVD)장비인 「프로듀서(Producer)」를 출품했다.

이 장비는 기존 매엽식 웨이퍼 공정 기술의 이점과 여러장의 웨이퍼를 함께 다루는 멀티 체임버 방식의 장점을 상호 결합한 혁신적인 구조로 0.18 미크론 이하 소자의 알루미늄 및 구리 배선과 저유전체 박막 증착에 사용된다.

이 장비에 부착된 트윈 체임버는 독립된 환경에서 2장의 웨이퍼를 동시에 가공할 수 있으며 한 개의 장비에 최대 3개의 트윈 체임버를 함께 부착할 수 있다.

따라서 「프로듀서」는 중앙의 웨이퍼 전송 로봇이 2장 웨이퍼를 각각의 트윈 체임버에 전송하고 이를 통해 6장의 웨이퍼를 동시에 가공함으로써 시간당 1백장 이상의 빠른 웨이퍼 처리 능력을 구현함으로써 전체적인 반도체 생산 비용 절감 효과를 거둘 수 있는 초고속 제품이다.

또한 이 장비는 원격 플라즈마 세정으로 지구온난화 물질을 발생시키지 않으며 현재 출시된 2백㎜ 웨이퍼 장비를 3백㎜ 웨이퍼용으로 쉽게 업그레이드할 수 있다.