캐논, 0.18미크론 스테퍼 개발

일본 캐논이 0.18 미크론 미세가공이 가능한 3백mm 웨이퍼 대응 스테퍼인 「FPA-5000ES2」를 개발했다.

일본 「일경산업신문」에 따르면 캐논의 「FPA-5000ES2」는 불화크립튼(KrF) 엑시머레이저를 사용하는 스테퍼로 회로원판이 되는 마스크를 4분의 1로 축소해 웨이퍼상에 노광할 뿐 아니라 렌즈 밝기를 나타내는 개구율(NA)을 0.68로 높여 0.18미크론급의 미세한 노광을 실현했다.

또 렌즈 스캔방식을 채용해 한번에 26 X 33밀리의 면적을 노광할 수 있고, 고속 작동을 위해 웨이퍼를 얹는 대를 경량화해 시간당 3백밀리 웨이퍼 환산 65장을 처리할 수 있다.

캐논은 이 웨이퍼를 10월부터 본격 출하할 방침으로 첫해 2백대 판매를 목표로 하고 있다. 가격은 8억3천만엔이다.

<심규호 기자>