[세미콘코리아98 특집] 출품작.. 케이씨텍 「가스스크러버」

가스장비 전문 생산업체인 케이씨텍(대표 고석태)은 반도체 제조공정에서 발생하는 각종 유독성 화학가스를 정화해 주는 드라이 가스 스크러버를 출품한다.

이 장비는 반도체 가공시 발생하는 납, 구리, 비소, 수은 등 각종 독성물질을 전기연소 또는 분진형태의 가검물로 정화처리해 검출물에 포함된 각종 유해성분을 규제치의 10% 이하로 줄여 일반 폐기물로 처리할 수 있도록 하는 제품이다.

케이씨텍은 이와 함께 반도체 주변장비인 가스공급시스템과 이 장비의 핵심부품인 가스압력조절기 및 벌브 제품도 이번 전시회를 통해 선보인다.

가스공급장치는 반도체용 특수가스를 소정의 압력을 이용해 생산장비에 공급해 주는 장치로 최근 CE마크를 획득한 이 회사의 가스공급시스템은 장비 운영중에 필요한 모든 정보를 터치패널을 통해 사용자가 쉽게 관리할 수 있도록 만들어진 것이 특징이다.

또한 이 회사가 개발한 가스압력조절기는 가스공급량을 적절하게 유지하고 압력을 조절할 수 있는 반도체 장비용 핵심부품으로 유독가스의 외부누출과 잔고장이 없으며 먼지 발생 등 외부 불량요인에 강한 것이 장점이다.