300mm 웨이퍼용 반도체 제조장비에 24시간 풀 평가방식 도입

한국의 삼성전자와 일본 주요 반도체 10개사가 참여하고 있는 반도체첨단테크놀로지스(세리트)가 3백mm웨이퍼용 반도체제조장비의 평가 작업에 박차를 가한다.

일본 「日經産業新聞」에 따르면 세리트는 3백mm 장비 평가 작업을 담당하는 기술자 수를 지난 4월 출범 당시보다 약 2.5배 늘린 약 75명을 확대, 평가 작업에 8시간 3교대 방식을 도입해 24시간 풀 가동 체제를 구축한다.

세리트의 이 같은 결정은 반도체웨이퍼의 3백mm화가 당초 예상보다 빠르게 진행되면서 최근 평가를 기다리는 3백mm 장비가 급증하고 있기 때문으로 세리트는 24시간 풀가동 체제를 평가 작업이 완료되는 99년 말까지 유지할 방침이다.

세리트는 99년말까지 총 70대의 3백mm웨이퍼용 반도체제조장비를 평가한다는 계획을 세워 놓고 있다.

<심규호 기자>