日 반도체관련업체들, PFC 리사이클 추진

일본의 반도체, 반도체제조 장비업체들이 공동으로 지구온난화를 촉진시키는 PFC의 회수와 재활용을 적극 추진하고 있다.

「日本經濟新聞」에 따르면 일본 반도체 관련업체들은 과불화 화합물(PFC)를 대체할 제3세대 화합물의 실용화가 늦어짐에 따라 일시적인 대책의 하나로 회수장치등을 이용한 PFC의 배출 억제정책을 펴기로 했다.

일본 반도체 관련업체들의 이같은 움직임은 오는 12월 일본에서 열리는 지구 온난화 방지조약 교토회의에서 PFC 문제가 집중 거론될 가능성이 높다고 판단한 때문이다.

반도체업계는 현재 실리콘웨이퍼에 전자회로를 형성할 때 화학물질인 PFC를 사용하고 있다. PFC는 프레온의 오존층 파괴가 사회문제로 비화되면서 이를 대체하는 새로운 화학물질로 90년대 초반부터 반도체업계에서 널리 사용돼 왔다. 그러나 최근들어 PFC는 이산화탄소(CO2)보다도 더 광범위하게 지구온난화를 촉진한다는 연구결과가 잇따라 발표되면서 새로운 문제로 떠오르고 있다.

PFC의 회수, 재활용은 일본전자기계공업회(EIAJ) 주도 아래 이미 미국 대체프론 회수장치를 도입해 쓰쿠바시 민간연구소가 실험 중에 있는데 이번에 히타치제작소, 도시바 등 반도체업체들과 도쿄일렉트론, 미네르바 등 반도체장비업체들이 이 실험에 참여키로 한 것이다.

쓰쿠바시 연구소와 반도체업체들은 최종적으로는 제조공정에서 사용한 가스를 회수, 재활용하는 시스템을 개발,각 공장에 도입할 방침이다.

한편 일본 EIAJ는 이미 PFC를 대체할 제3세대 화합물과 관련해 3종류의 화학물질을 후보로 선정해 놓고 있으나, 이들 화학물질들이 안정성 등과 관련한 반도체공장의 실제 검증과 공급체제 정비를 거쳐 본격 실용화되기까지는 적어도 5년 이상이 소요될 전망이다.

<심규호 기자>