환경 보존형 반도체 장비 출시 본격화

반도체 제조 공정 중 발생하는 각종 환경오염물질의 사용 및 처리에 대한 업체의 관심이 높아지면서 이에 대응하는 환경 보존형 반도체 장비의 개발 및 출시가 본격화되고 있다.

18일 관련업계에 따르면 최근 미국, 유럽 등 선진국을 중심으로 지구환경보존 차원에서 반도체 제조공정 중 에칭 및 증착 공정에서 발생하는 과불화 화합물 등의 각종 유독 가스와 웨이퍼의 세척에 사용되는 유해 화학약품,그리고 작업 챔버의 온도 조절을 위한 프레온 가스의 사용에 대한 실질적인 규제 움직임이 「국제 반도체 환경 안전회의」 등을 통해 구체화됨에 따라 국내 반도체 업체들 또한 이에 대한 대책 마련에 나서고 있다. 이에 대응,한국MAT, 성원에드워드 등 가스 스크러버 생산 업체들은 물론 한양기공, 피케이 등의 웨이퍼 세정시스템 공급업체와 약품 공급시스템 및 반도체용 온도조절장치 생산업체인 에어리퀴드코리아와 다산C&I 등 가스 및 약품 관련 장비업체들의 대부분이 환경 보존형 제품의 개발 및 출시를 본격화하고 있다,

가스 스크러버 국산화 업체인 한국MAT는 지난해 번 인(Burn In)과 웨트(Wet) 타입의 2가지 가스 처리 방식을 동시 수행,최근 가장 문제시되고 있는 과불화 화합물의 처리 효율을 극대화한 소형 가스 스크러버 「MAT153」를 개발하고 본격적인 양산에 착수했다. 이와 함께 드라이펌프 전문업체인 성원에드워드도 CF4,C2F6 등과 같은 프레온 가스의 처리 효율이 80% 이상인 번 인 방식의 가스 스크러버 「TPU」를 생산,공급중이다.

최근 반도체 장비시장에 본격 참여한 피케이는 웨이퍼의 세척 단계별로 여러개의 챔버를 사용하던 기존 클리닝 장비들과는 달리 한개의 챔버 내에 웨이퍼를 고정시키고 각 단계별로 다른 화학물질을 번갈아 주입함으로써 기존 보다 약품 사용량을 획기적으로 줄인 배치(Batch) 방식의 웨이퍼 세정시스템을 출시하고 본격 공급에 나섰다. 한양기공도 카세트 없이 웨이퍼를 곧바로 투입해 세정함으로써 기존 카세트 타입의 장비보다 약품 사용량을 3분의 1 수준으로 줄인 카세트레스형 웨트스테이션의 공급과 함께 배치 타입의 세정 시스템 개발도 적극 추진중이다.

다산C&I도 기존 반도체용 온도조절장치에 주로 사용되던 프레온 가스가 지구 온난화의 주범으로 인식됨에 따라 프레온 가스 대신 고체상태의 열전소자(Thermo electric heating & colling Module)를 이용한 무냉매 방식의 초소형 온도조절장치를 개발하고 본격적인 양산에 착수했다.

또한 에어리퀴드코리아서비스는 일반 공업용 원료를 사용해 반도체 제조에 필요한 각종 초고순도 약품들을 현장에서 곧바로 생산할 수 있게 함으로써 결과적으로 약품 보관에 따른 2차 오염 문제를 해결,환경 파괴의 우려가 없는 현장생산 방식(On Site)의 약품 공급 시스템을 출시하고 본격적인 영업에 나섰다.

<주상돈 기자>