동진화성, i라인 포토레지스트 양산

동진화성(대표 이부섭)이 16MD램 이상의 고집적 반도체 제조에 사용되는 i라인 포토레지스트(PR) 생산을 본격화함에 따라 현재 전량 수입에 의존하고 있는 i라인 제품의 국산대체가 촉진될 전망이다.

그동안 4MD램용 g라인 제품생산에 주력해온 동진화성은 최근 16MD램의 생산확대와 함께 국내 레지스트 수요의 70% 이상을 차지하고 있는 i라인 레지스트 제품을 내년 초부터 본격적으로 양산할 계획이라고 11일 밝혔다.

이를 위해 동진은 경기도 발안의 1만평 부지에 총 2백50억원을 들여 월 5만 갤런(gal)의 생산능력과 트랙 및 스테퍼 등의 각종 첨단장비를 갖춘 고기능 포토레지스트 생산공장을 건설중이다. 내년 초 이 공장의 가동과 함께 동진이 생산할 i라인 레지스트는 저분자량 성분의 새로운 수지기술(Resin)과 i라인에 대응하는 고급 해상도 및 감광특성을 지닌 회로선폭 0.45미크론급 제품으로 이미 삼성전자의 품질승인을 획득한 것으로 알려졌다.

포토레지스트는 반도체 표면 등을 에칭할 때 사용되는 핵심재료로 그 중에서도 i라인 제품은 16MD램 양산에 힘입어 그 수요가 크게 늘고 있으나 그동안 국산생산이 미진해 거의 전량을 TOK社 등 일본업체에 의존해 왔다.

지난 91년 포토레지스트 및 이와 관련된 디벨로퍼, 스트리퍼 등의 생산에 참여한 동진은 이 부문에서만 올해 1백50억원의 매출을 달성한 데 이어 발안공장 가동과 i라인 제품생산이 시작되는 내년에는 국내는 물론 미국, 대만 등 해외시장 개척을 통해 3백억원의 관련 매출을 거둘 계획이다.

<주상돈 기자>