표준연, 이온현미경 도입

한국표준과학연구원(원장 정명세)이 극미량 불순물 분석의 필수장비인 이온현미경을 도입, 소재특성 평가센터에 설치했다고 30일 발표했다.

연구원은 이번에 도입한 이온현미경이 수천V로 가속된 아르곤, 산소 등을 고체 표면에 충동시킬 때 발생하는 이온의 질량을 분석, 고체 표면의 극미량 불순물도 정확하게 분석할 수 있는 최첨단 질량분석기라고 설명했다.

연구원은 또 이온현미경은 대당 가격이 8억원에 이르는 고가장비로 삼성, 현대, LG 등 일부 재벌급 반도체 회사들이 도입, 활용하고 있는 정도라며 이 장비의 도입으로 앞으로 극미량 불순물 분석을 위한 시료제작 등의 연구가 본궤도에 오를 수 있게 됐다고 전망했다.

<서기선 기자>