한일초음파, TFT LCD 인라인 세척장비 국산화

한일초음파가 박막트랜지스터 액정표시장치(TFT LCD) 제조공정에서 유리기판의 미세한 오염물질을 제거하는 인라인 세척장비를 첫 국산화했다.

각종 세척기 전문업체인 한일초음파(대표 김채진)는 공업기반기술 과제로 지난 94년부터 총 3억원을 들여 최근 TFT LCD 생산라인에서 레지스트 박리후 세척을 위한 초음파 자동 세척장비를 개발해 성능시험 평가중이라고 25일 밝혔다.

이번에 한일초음파가 국산화한 TFT LCD용 세척장비는 기존 배치식에서는 어려웠던 12.1인치 이상의 대면적 평판처리가 용이하고 초정밀 세척이 가능한 낱장 처리식이어서 0.1미크론급의 미세한 입자도 제거할 수 있다. 또한 낱장 처리식 구동장치와 제어장치, 전용 공정감시 제어용 소프트웨어를 채용해 자동으로 시스템을 제어하거나 모니터링을 고도화, 조작의 편리성을 도모했다.

특히 이 세척장비는 1급 초음파를 이용한 스프레이 방법을 채용, LCD는 물론 반도체공정에도 응용 가능하며 세척 후에도 물이 묻지 않는 에어나이프식 건조 유닛을 시스템에 적용해 건조시간을 대폭 단축했다.

한일초음파는 『이번 TFT LCD 세척장비의 개발로 0.5미크론 이하의 서브미크론급 초정밀 세척요소 및 시스템 기술확보로 초음파 세척분야에 있어서는 일본과 대등한 수준에 이르렀다』고 자평하고 『향후 컬러필터, HDD, DVD용과 PDP 등 평판표시소자용 세척장비를 연차적으로 국산화할 방침』이라고 밝혔다.

오는 98년 세계 TFT LCD용 세척장비 시장은 지금보다 30% 이상 늘어난 1천5백억원(국내시장은 4백억원)에 이를 전망이다.

〈강병준 기자〉