삼성종합기술원, 고감도 마이크로 자이로스코프 개발

1초에 0.1도 이하의 각도 변화까지 감지할 수 있는 마이크로 자이로스코프가 국내 기술진에 의해 세계 최초로 개발됐다.

삼성종합기술원(원장: 朴 寬)은 한국과학기술원(KAIST),tjdnfeodhk rhdehddmfh 기존의 기계식 자이코로스코프와는 다른 표면미세가공(Surface Micromachining) 방식의 고감도 마이크로 자이로스코프 개발에 성공했다고 5일 밝혔다.

이번 개발된 제품은 공기의 저항을 최소화 하기위해 고진공으로 패키징됐으며 표면미세가공 방법으로 실리콘 기판위에 다결정 실리콘 박막을 7.5미크론의 두께로 증착, 기존의 자이크로스프에 비해 3배의 高 단면비(Aspect Ratio)와 10배 이상의 고감도를 얻을 수 있는 것이 특징이다.

특히 압전방식등의 기존 기계식 자이크로스코프와는 달리 반도체 공정을 이용한 칩(Chip)化에 성공,기존의 자이크로스코프보다 크기를 대폭 줄이는(가로,세로 각 1mm) 한편 가격도 낮출 수 있게 돼 상품화 적용시 경제성을 높였다.

삼성종기원은 그동안 1초에 1도까지 감지할 수 있는 제품이 발표됐으나 0.1도의 미세각도까지 감지할 수 있는 제품으로는 세계적으로도 처음 개발된 것이라고 설명했다.

삼성종합기술원은 이 제품 개발과 관련해 총 24건의 특허를 국내외에 출원해 놓고 있다.

마이크로 자이로스코프는 실리콘웨이퍼위에 극소형 진동구조물을 제작한 후 이 진동 구조물이 구동되는 상태에서 회전에 의해 각변위가 생기면 이를 감지하는 센서로서 차세대 소형로봇인 마이크로로봇을 구현하는 핵심기술이다.

이 제품은 마이크로머신 이외에 캠코더의 손떨림 방지, 자동차의 위치제어, 정보통신용 감응 소자,미소 광스위치,릴레이 등 폭넓은 분야에서 활용 가능하다.

<이창호 기자>