고순도 가스정제장치 및 드라이스크러버 생산업체인 한국파이오닉스(대표고석태)가 최근 안성 제2공단에서 준공식을 갖고 본격 생산에 들어갔다. 총30억원을 투자해 건설한 이 공장은 대지 1천평, 건평 3백평 규모로 클린룸,가공실, 분석실, 리필룸 등에 APIMS 등 각종 첨단 가스분석시스템 및 생산설비를 갖추고 있는데 한국파이오닉스는 연말부터 가스의 순도를 높여주는정제장치인 퓨리파이어와 반도체 제조공정중 발생하는 각종 유독가스를 안전하게 처리해주는 드라이스크러버를 주력생산할 계획이다.
한국파이오닉스는 지난해 7월 반도체장비업체인 케이씨텍이 그간 수입에의존해온 이들 장비들의 국산화를 위해 일본 파이오닉스와 합작설립한 법인이다.
<김경묵 기자>
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