日히타치, 대형기판 노광장치 개발

일본의 반도체제조장비업체 히타치電子엔지니어링은 5백50x6백50mm의 대형유리기판에 대응하는 액정패널의 컬러필러용 노광장치를 개발, 판매개시했다고 「日經産業新聞」이 최근 보도했다.

현재 4백x5백mm대응 노광장치를 판매하고 있는 이 회사는 이번 신제품을투입, 액정패널의 대형화 및 생산효율향상 요구에 대응한다.

신제품 「LE-5565-A」는 포토레지스트(감광수지)를 도포한 유리기판에 자외선으로 포토마스크패턴을 형성하는 장치로 주로 컬러필터의 제조프로세스에 사용한다.

장치내에 온도를 관리하는 기능을 장착, 포토마스크나 유리기판의 온도를조정하며 노광시간을 뺀 처리속도는 기판 1장당 20초이하이다. 가격은 1억6천만엔.

<신기성 기자>