日 아테네社, 미크론급 미세홈 형성기술 개발

일본의 프린트기판 업체인 아테네社가 초정밀도금기술과 포토리토그래픽기술을 이용하여 금속기판상에 미크론급의 미세한 홈을 형성하는 가공기술을개발했다고 일본 「日經産業新聞」이 최근 보도했다.

아테네社는 이 미크론단위의 미세홈형성기술개발에 「일렉트로포밍」이라는 전기주조도금제조법을 응용했다.

아테네는 레지스터(감광성수지)를 바른 니켈기판에 빛의 투과성을 높인 독자개발 포토리토그래픽기술을 이용해 패턴을 형성하고, 고정밀도금가공기술을 활용하여 프린트기판 開口부의 최소크기를 직경 25미크론까지 미세화시켰다.

또 홈간 간격을 15미크론까지 좁히는 정밀가공기술도 확립하여 기판상의미세한 開口패턴을 대량 형성할 수 있도록 했다. 開口부의 홈은 깊이 2백미크론까지 가공이 가능하며, 최대 10도까지 경사진 홈도 가공 할 수 있다.

이 기술을 이용하면 프린트기판상에 미세한 開口패턴을 대량으로 형성할수 있다. 따라서 이 기술은 반도체제조에 사용되는 증착마스크, 광학마스크등의 차폐마스크개발에 응용될 수 있다.

아테네社는 이 기술로 반도체제조용 차폐마스크 등을 개발하여 반도체관련업체들을 중심으로 판매할 계획이다. 아테네는 첫해 5억엔의 매출을 기대하고 있다.

아테네社의 지난해 매출은 28억엔으로 이 가운데 프린트기판사업매출이 50% 였다.

<심규호 기자>