셈틀, 시험용 전자동 면적저항 측정기 개발

셈틀이 웨이퍼·의료기기용 종이·유리코팅 및 자성테이프 등 각종 시험재료의 면적저항 균일도를 측정할 수 있는 시험용 전자동 면적저항 측정기를개발했다.

셈틀(대표 최승철)은 지난 92년 자체 개발한 반도체 웨이퍼용 표면저항 측정기에 현미경 등의 장비를 추가로 탑재해 웨이퍼 뿐만 아니라 의료기기용종이·유리코팅 등 각종 시험재료의 면적저항을 자동으로 측정할 수있는 시험용 면적저항 측정기를 개발, 삼성기술연구원 및 각 대학 연구소에 공급할계획이라고 18일 밝혔다.

이번에 개발된 면적저항 측정기는 XYZ축 선반, 스테핑 모터 컨트롤러, 측정부 및 운영프로그램 등으로 구성되어 있으며 주컴퓨터에 내장된프로그램에의해 전자동으로 시험재료의 면적 저항율을 측정할 수 있다. 또한 4개의 탐침을 이용하여 동시에 면적저항을 측정할 수 있는 순간접촉식 4탐침법을 사용했으며 측정된 저항률 관련 분석데이터는 2.3차원 그래픽으로 구현할 수있다.

<강병준 기자>