PMT한국지사, 식각장비 본격 공급

PMT社가 양산용 모리(M0RI)소스 에처(식각장비)를 국내에 본격공급한다.

에처업체인 PMT한국지사(대표 김태수)는 최근 현대전자와 4백만달러 상당의 장비공급 계약을 체결, 이 회사의 새로운 에처인 「피너클 8000R」을 현대전자 FAB3에 9월부터 설치할 계획이라고 3일 밝혔다. 저압고밀도 에처인「피너클 8000R」은 올해 발표된 PMT의 신장비로 낮은 압력에서 고밀도 플라즈마를 생성, 0.25미크론까지 에칭컨트롤이 가능한 제품으로 폴리·옥사이드·메탈 등 에칭의 3개 분야 모두에서 동일한 식각률을 보이는 제품이다.

PMT한국지사는 지난해부터 삼성전자·LG전자·현대전자·대우전자 등에 피너클 8000R의 구모델인 피너클8000 6대를 공정연구용으로 공급해왔으나 최근들어 성능을 인증받으면서 양산공정 공급물량이 늘 것으로 기대하고 있다.

피너클 8000R은 기존 에처와 다른 M=0(제로)방식의 「M0RI」소스를 사용,2백56MD램 이상의 고집적도 제품에 사용하는 텅스텐 플래티늄 등 새로운 필름제작에 응용이 활발한 것으로 알려졌다.

<정영태 기자>