일 타이란, 대체프레온 조성분석기 개발

일본 반도체 제조장치업체인 타이란사는 대체프레온의 조성분석기를 개발 했다고 "일경산업신문"이 최근 보도했다.

이 장치는 에어컨, 냉장고 등 용도별로 가장 적합한 대체 프레온을 선택하는데 이용된다. 프레온32, 프레온125, 프레온134A, 프레온143A 등의 대체 프 레온은 용도에 따라서 각 성분의 구성비가 다르기 때문에 그 조성을 분석해 적정한 비율을 확보하는 게 필요하다.

일본 타이란이 개발한 분석기는 카스크로매트그라피를 사용, 대체프레온의 조성을 단시간에 계측한다. 액체상태의 대체프레온을 삽입구를 통해 분석기 로 보내면 3, 4분후 각 성분의 비율이 표시된다. 계측결과는 프린터로 출력 할 수 있다. 조성이 적절하지 않을 경우는 출력데이터를 참고로 성분을 가감 한다. 이 분석기의 크기는 횡폭 22cm, 높이 26cm, 두께 40cm이며 중량은 8kg, 가격은 95만엔이다.

일본타이란은 반도체 제조공정에서 사용되는 각종 가스의 유량측정장치를 주력사업으로 하는 업체다. <신기성기자>