한국산업가스, 반도체용 화학약품 본격 생산

산업용 특수가스 전문업체인 한국산업가스(대표 이세웅)가 미국의 반도체 케미컬 및 장비업체인 슈마커사와 합작으로 "슈마허코리아"를 설립、 다음달부터 화학증착(CVD).확산공정 등 각종 반도체 제조공정에 사용되는 고순도 화학약품을 본격 생산한다.

지난 25일 양사가 50대50으로 출자해 자본금 10억원 규모로 설립된 슈마허 코리아의 대표이사는 한국산업가스의 관계사인 대한특수가스의 김교성사장이겸임하며 내달부터 총 30억원을 투입해 슈마커사의 특허기술를 이용해 CVD.

확산.이온주입등 반도체 핵심제조공정에 사용되는 TEOS(Tetra Ethyl Ortho Silicate).TMB.TMP 등과 최근 TCA(Trichloroethane)의 대체품으로 각광받고있는 트랜스LC(1、 2-Dichloroethylene) 등을 공급해 나갈 계획이다.

슈마허코리아는 이를 위해 경기 시화공단 안의 대한특수가스공장 인근에건평 2천평、 연산 50톤 규모의 공장을 완공하고 생산.분석설비 등을 설치중인데 내년초에는 금속불순물을 ppq(10-12)수준까지 분석가능한 고성능 분석장비를 구축해 고품질 제품생산에 주력해 나갈 방침이다.

또한 슈마커코리아는 이들 제품의 생산과 함께 최근 미슈마커사가 개발한 64MD램용 케미컬인 TDMAT(Tetrakis Dimethylamino Titanium).TDEAT(Tetrakis Diethylamino Titanium) 등과 현재 개발중인 2백56MD램용 각종 화학약품들도 공급할 예정이다. <김경묵기자>