표준연, 초정밀 특정용 엑스선 간섭계 개발

실리콘 단결정과 엑스선을 이용해 나노미터(10억분의 1미터)까지 측정이 가능한 길이.각도 측정기기가 순수 국내기술로 개발됐다.

25일한국표준과학연구원(원장 정명세) 길이그룹의 엄천일 박사팀은 지난 2년반 동안 1억5천만원의 연구비를 들여 나노미터(길이)와 나노라디안(각도) 을 측정할 수 있는 엑스선 간섭계를 개발하는 데 성공했다고 발표했다.

이번에 개발된 엑스선 간섭계는 실리콘 단결정으로부터 일어나는 회절현상을 이용해 엑스선 간섭신호를 검출함으로써 일반 가시광선 간섭계로서는 측정할 수 없는 나노미터영역의 측정을 가능하게 한 것이다.

엑스선간섭계의 개발로 우리나라도 원자의 크기까지 측정할 수 있는 초정밀 측정기술을 보유하게 됐으며 이는 반도체의 고집적화에 필수적인 미세회로측 정등 다양한 분야에 응용될 수 있을 것으로 기대된다.

연구팀은 엑스선 간섭계가 레이저 간섭계의 선형성 교정、 나노미터 이하단 위의 센서나 변환기들의 교정 및 특성파악 등에 활용될 것이라고 밝혔다.

<대전=최상국기자>