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프리시스, 11세대 OLED용 초고진공 밸브 국산화…글로벌 기업보다 한발 앞서 성공

발행일2019.10.07 14:49
Photo Image<프리시스가 20년간 다져온 반도체용 초고진공밸브 기술을 바탕으로 11세대 OLED용 초고진공 밸브를 국산화하고 국내외 대형 FPD 시장 공략에 본격 나선다. 프리시스 엔지니어가 초고진공 밸브 옆에서 성능 테스트를 진행하고 있다.>

프리시스가 초고진공 밸브 분야에서 20여 년간 축적한 기술력을 바탕으로 11세대 OLED용 초고진공 대형 밸브를 글로벌 기업보다 한발 앞서 출시하고 국내 대형 평판디스플레이(FPD) 시장은 물론 해외 시장 공략에 팔을 걷어 붙였다.

특히 최근 반도체·디스플레이 공정 미세화, 생산량 증가 등 급속한 기술 발전과 더불어 이에 걸맞은 내구성, 고청정, 고진공 등 까다로운 공정 조건이 요구되면서 프리시스를 비롯한 스위스·일본 등 일부 기업만 초고진공 밸브를 양산하고 있다. 초고진공 밸브는 외부와 차단역할 등 공정의 진공도를 적절히 유지시키는 데 필요한 핵심 자본재 부품이다.

프리시스(대표 서진천)는 삼성동 코엑스에서 8~11일 개최하는 '제 21회 반도체대전(SEDEX)'에서 스위스·일본 등 기업보다 먼저 개발한 11세대 OLED용 초고진공 대형 밸브(모델 T-MOTION Large Rectangular Gate Valve)를 처음 선보인다고 7일 밝혔다.

특히 11세대 OLED용 초고진공 대형 밸브는 공정 챔버와 챔버 간 연결통로에 부착해 게이트 역할을 수행한다. 최근 FPD 양산 환경에서 요구하는 초고진공의 완벽한 차단 성능으로 챔버 내부에 유입되는 공기를 완벽하게 차단, 공정에 필요한 초고진공 형성 과정에 절대적 역할을 한다.

회사는 이번 OLED용 초고진공 대형 밸브 출시를 계기로 5세대, 6세대, 8.5세대, 11세대 등 OLED 분야에서 다양한 초고진공 밸브 제품 라인업을 완성했다. 도어 밸브, 슬롯 밸브, 스윙 밸브, 펜듈럼 밸브, RPC 밸브 등 반도체용·LCD용 초고진공 밸브 개발도 완료, 반도체·평판 디스플레이 핵심 부품 시장에서 경쟁력을 완비했다.

프리시스는 올해 반도체 장비 산업에 이어 FPD 장비 산업을 아우르는 글로벌 초고진공 밸브 공급 기업으로 거듭날 계획이다. 회사는 이미 국내·외 반도체 소자·반도체 장비 기업 60여곳에 초고진공 밸브를 공급하고 있다. 미국 지사 설립에 이어 중국 시장 진출도 본격화하기 위해 지사 설립을 진행하고 있다.

특히, 회사는 중국·미국·유럽 등 기업 10여곳에 제품을 이미 공급한 데 이어 올해 일본 시장에도 초고진공 밸브를 역수출하는 성과를 거둘 것으로 내다봤다. 현재 일본 장비 업체 U사·K사와 초고진공 밸브 수출 협의를 진행, 공급 계약 체결을 목전에 두고 있다.

이는 프리시스 초고진공 밸브가 가진 우수한 부품 성능 덕분이다. 회사 제품은 내구성과 완벽한 차단, 불순물 발생 억제, 유지 보수 편리성 등 우수 기술을 앞세워, 반도체·디스플레이 고객의 편의성을 높여주고 있다. 게다가 글로벌 기업에 견줘서도 높은 수준의 품질과 원가 경쟁력, 편리한 사후 관리, 신속한 기술 지원 대응 등 제반 여건을 충분하게 갖춘 것도 한 몫하고 있다.

서진천 대표는 “OLED 분야의 다양한 제품을 출시하면서 자체 보유중인 평가 설비를 활용해 다양한 제품 검증을 진행했고 이미 장비 업체와 소자 업체에서 실장 테스트를 진행, 만족할 만한 수준의 제품으로 인정받았다”고 말했다.

서 대표는 “초고진공 밸브의 경우 해외 의존도가 매우 높은 품목인 탓에 수입에 적지 않은 비용을 지불하고 있다”면서 “자본재 성격의 우수한 신제품을 지속적으로 개발, 로컬 이미지를 벗고 글로벌 기업으로 성장하겠다”고 덧붙였다.

안수민기자 smahn@etnews.com



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