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동진쎄미켐, '텅스텐 CMP 슬러리' 대만 주요 반도체 제조사 공급 확대

발행일2019.03.19 17:39
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동진쎄미켐은 반도체 제조용 텅스텐 화학기계연마(CMP) 슬러리를 대만 주요 반도체 제조사에 본격 공급한다고 19일 밝혔다.

동진쎄미켐은 지난해 10월부터 이 회사에 소량 공급을 시작했는데 최근 대만과 중국에 위치한 8인치 반도체 공장 전체로 확대 공급하기 시작했다.

동진쎄미켐 텅스텐 CMP 슬러리는 반도체 공정 중 웨이퍼 평탄화에 활용하는 CMP 공정에서 활용되는 액체다. 첨단 로직, D램, 플래시 메모리 등 다양한 반도체 제조 공정에 적용할 수 있다.

텅스텐 CMP 슬러리 제조는 미국 캐보트 마이크로일렉트로닉스가 독점해왔다. 최근 캐보트 이외에 동진쎄미켐이 유일하게 자체 생산기술을 확보했다.

동진쎄미켐은 대만, 한국 등에서 있었던 특허 소송에서도 연달아 승소하면서 독자 기술력을 인정받았다. 2018년 7월 대만 특허에 기초한 캐보트의 특허권침해금지 등 소송에서 승소해 해외에서 독자 기술력을 인정받은 바 있다.

지난해 8월 국내에서도 캐보트가 제기한 '특허권침해금지등의 소 및 캐보트 특허에 대한 무효심결취소의 소'에서 승소했다. 국내 특허 2건에 대한 무효심판에서 2018년 11월 및 2019년 2월에 각각 동진쎄미켐이 승소하며 기술력을 인정받았다.

동진쎄미켐은 한국, 중국, 싱가폴, 말레이시아의 고객사에 텅스텐 슬러리를 공급하고 있다.

동진쎄미켐 관계자는 “이번에 업계에 영향력이 높은 글로벌 반도체 업체 공장에 제품을 확대 공급하면서 신뢰도를 확보하고 세계 시장 점유율을 더욱 빠르게 끌어올릴 것”이라고 설명했다.

한국 내 최대 반도체 및 디스플레이 소재 공급업체인 동진쎄미켐은 한국 및 대만공장과 중국 각 지역에 14개 공장을 운영하고 있다.

강해령기자 kang@etnews.com



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