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에드워드의 차세대 iXH 건식 펌프. (사진=에드워드)

에드워드코리아(대표 윤재홍)는 세미콘코리아 2019 전시회에서 새로운 진공·가스 처리기술 솔루션을 선보였다고 23일 밝혔다.

에드워드코리아는 공정 부산물 처리에 적합한 차세대 iXH 건식 펌프를 소개했다. 넓은 범위의 온도에 대한 내구성을 갖춰 펌프 성능을 최적화해 프로세스 가스 응축과 부산물 축적을 최소화 한다.


윤재홍 대표는 “세계적으로 대기 배출가스에 대한 법규가 강화되면서 대응책에 대한 관심이 커졌고 첨단 기술을 실현하는 진공·가스처리 솔루션이 요구되고 있다”며 “곧 출시할 차세대 iXH 건식 펌프는 공정 부산물 대응에 최적 솔루션을 제공할 것”이라고 말했다.


배옥진 디스플레이 전문기자 withok@etnews.com