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ORC의 스테퍼 PPS 시리즈.

반도체 디스플레이 펠리클(마스크 보호용 피막)이 주력 매출원인 에프에스티(FST)가 패키지 장비 분야로 외연을 확대한다.

에프에스티는 16일 일본 스테퍼(Stepper) 장비 전문회사인 ORC와 최근 포괄적 사업 협력을 골자로 양해각서(MOU)를 교환했다고 밝혔다.

스테퍼는 패키지 등 반도체 후공정에서 주로 쓰이는 노광 장비다. ORC는 1968년 설립된 회사로 각종 노광 장치를 다룬다. 430여명 직원을 거느리고 있는 이 회사는 2016년 기준 약 138억엔(한화 약 1350억원) 매출을 기록했다. ORC의 주력 스테퍼는 2마이크로미터(㎛) 해상도로 패턴을 새길 수 있는 장비다. 팬아웃 등 어드밴스드 패키지 공정에서 활용된다.

에프에스티는 노광 공정에서 활용되는 펠리클을 생산하고, 자회사 오로스테크놀로지가 반도체 제조공정에 사용되는 광학계 오버레이 정밀측정장비를 생산하고 있어 양사간 협력 시너지가 클 것이라고 설명했다.


회사 관계자는 “일본 ORC도 에프에스티가 한국 반도체 시장 특성을 잘 이해하고 있다고 판단해 상호 협력 관계를 맺게 됐다”고 설명했다.


한주엽 반도체 전문기자 powerusr@etnews.com