삼성전자가 진통 끝에 7나노 전용 반도체 공장(가칭 18라인) 건설 승인을 받았다.
6일 화성시와 업계 등에 따르면 삼성전자는 지난 1일자로 화성 신공장 건설 인·허가를 따냈다. 조만간 착공한다. 내년 초 인근 주민, 화성시, 지역구 의원 등을 초청, 공식 기공식을 열 계획이다.
삼성전자는 지난 8월 화성사업장 일부 주차장 부지를 활용해 7나노 반도체 전용 공장을 건설할 것이라고 밝힌 바 있다. 약 6조원이 투입된다. 당초 착공 계획은 11월이었나 화성시가 승인을 미루면서 계획보다 약 한 달가량 착공 시기가 늦어졌다. 화성시는 신공장이 들어서면 주변 일대 교통량이 증가할 것으로 예상된다며 삼성전자에 700억원 규모 지하도로 건설을 요구했던 것으로 전해졌다. 이 과정에서 인허가가 늦어졌다.
삼성전자는 셔틀버스 운행 확대 등 자체 대책을 마련하는 한편 교통영향평가 이후 신공장으로 인한 교통량 증가가 유의미할 경우 시와 협의해 문제를 원만하게 해결해 나가기로 했다. 한시가 급한 만큼 일단 인허가부터 받은 것이다.
삼성전자 화성 신공장에는 첨단 극자외선(EUV) 노광장비가 대량으로 설치된다. 7나노 시스템반도체 파운드리 공정이 도입된다. 이미 한 대의 상용 EUV 장비가 설치된 17라인과 연계해 운용된다. EUV는 빛 파장이 기존 노광장비보다 현저히 짧아 보다 미세한 회로 패턴을 그려놓을 수 있는 기술이다. 현재 이 장비를 대량 발주한 회사는 삼성전자가 유일하다.
업계 관계자는 “당초 계획보다 인허가가 늦어지면서 삼성전자는 공장 건설 기간을 일부 앞당겨야 하는 과제를 안게 됐다”고 말했다.
삼성전자는 최근 미국과 중국에서 7나노 파운드리 신규 고객사를 사실상 확보했다. 퀄컴 7나노 칩 생산을 TSMC에 넘겨줬지만 신규 고객사를 확보하면서 성장 청신호가 커졌다.
한주엽 반도체 전문기자 powerusr@etnews.com
