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한국반디기술학회, 반도체대전 전시회에 공정장비 진단제어 홍보관

발행일2017.10.11 10:46
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한국반도체디스플레이기술학회는 17일부터 19일까지 서울 삼성동 코엑스에서 열리는 제 19회 반도체대전(SEDEX) 2017에 '공정장비 진단제어 홍보관'을 연다고 11일 밝혔다.

공정장비 진단제어란 각종 센싱 기술로 수집된 데이터를 수집 분석해 반도체와 디스플레이 패널 생산성과 수율 등을 높이는 기술을 통칭한다.

독립관 형태로 구축되는 홍보관에는 코리아스펙트랄프로덕츠(KSP), 뉴파워프라즈마, 프라임솔루션, 한국표준과학연구원, 명지대학교 등 12개 산학연 주체가 참여해 관련 기술을 소개한다.

기술 교류회와 세미나도 병행 개최된다. 세미나에는 원익IPS, KLA텐코, KSP 등 주요 업체 전문가들이 나온다. 진단제어 분야, 하드웨어와 소프트웨어, 진단 알고리즘, 평가팹 등을 주제로 강연한다.

학회는 “이번 행사를 통해 한국 반도체 디스플레이 제조기술력에 부합하는 공정장비 진단제어분야 기술 개발 필요성을 널리 알릴 것”이라고 말했다.

한주엽 반도체 전문기자 powerusr@etnews.com

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