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美 어플라이드도 유기물 증착기 '도전장'

발행일2017.10.09 10:12

세계 반도체·디스플레이 1위 장비기업 어플라이드머티어리얼즈가 6세대 플렉시블 유기발광다이오드(OLED)용 증착기를 개발했다. 세계 장비시장에서 기술 경쟁력을 인정받은 거대 기업이 증착기 시장에 뛰어든 셈이다. 기존 강자인 일본 캐논도키를 위협할 다크호스로 성장할지 귀추가 주목된다.

9일 업계에 따르면 미국 어플라이드머티어리얼즈는 최근 6세대 플렉시블 OLED용 증착기를 개발했다. 일본 재팬디스플레이(JDI)가 어플라이드 증착기 성능을 테스트하고 있다.

업계는 어플라이드의 첫 개발 제품인 만큼 당장 양산 라인에 투입될 가능성은 낮다고 분석했다. 하지만 어플라이드가 디스플레이와 반도체 핵심 전공정에서 상당한 기술력을 갖춘 만큼 향후 OLED 증착기 시장에 어떤 영향을 미칠지 예의주시하고 있다.

어플라이드는 기존 증착기에서 기판 위에 섀도마스크를 배치할 때 마스크와 유리 기판이 처지는 문제를 해결하는 기술을 적용했다. 보통 기판과 섀도마스크를 평평하게 배치한 뒤 유기물을 증착하는데 어플라이드는 이를 수직으로 세워 처짐 현상을 없애는 시도를 했다고 알려졌다.

처짐 현상이 없으면 6세대 기판을 절반으로 잘라 증착하는 기존 하프컷 방식이 아닌 풀컷으로 증착할 수 있다. 1장의 마더글라스에서 더 많은 패널을 생산할 수 있다. 6세대 규격뿐만 아니라 8세대 등 더 큰 규격에도 RGB 증착 방식을 적용할 수 있다고 봤다.

현재 8세대 OLED는 파인메탈마스크(FMM)를 이용하지 않고 오픈마스크를 이용한다. 과거 삼성디스플레이가 RGB 증착 방식을 사용해 8세대 OLED 양산을 시도했으나 기술 난도, 생산비용 등에서 경쟁력이 없다고 판단해 실제 양산은 하지 않았다.

업계는 어플라이드가 시도한 새로운 기술 방식이 패널 제조사에서 어떤 평가를 받을지 촉각을 곤두세웠다.

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한 관계자는 “여러 증착기 공급사의 특허를 피해야 하고 기존 기술 한계도 돌파해야 하는 만큼 새로운 방식을 적용했다고 보인다”면서 “하지만 수직형 증착 방식에서 여러 새로운 문제가 등장할 수 있어 실제 양산에 적용되려면 상당히 시간이 오래 걸릴 것”이라고 내다봤다.

다른 관계자는 “첫 개발 제품인 만큼 당장 양산 라인에 투입될 가능성은 낮다고 본다”면서 “하지만 어플라이드가 OLED 핵심 전공정 장비 중 박막봉지(TFE)용 화학기상증착(CVD) 장비를 양산했고 다양한 제품군을 갖춰 향후 패널 제조사에 유리한 구매 조건을 제시하는 영업 전략을 펼칠 수 있다”고 예상했다.

유기물 증착기 시장은 일본 캐논도키가 삼성디스플레이에 6세대 장비를 독점 공급하며 시장을 독주했다. 뒤를 이어 국내 선익시스템이 LG디스플레이에 6세대 장비를 공급해 경쟁 구도를 형성했다. 국내 에스에프에이와 일본 알박은 중국 패널 제조사에 4세대와 5.5세대 장비를 납품했다. 국내 기업 야스는 8세대 증착기를 LG디스플레이에 독점 공급했으며 6세대는 증착 소스만 양산했다.

배옥진 디스플레이 전문기자 withok@etnews.com

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