한국반도체디스플레이기술학회는 오는 25일 서울대 공과대학 39동 다목적회의실에서 '공정진단제어 기술연구회' 워크숍을 개최한다고 밝혔다.

공정진단은 다양한 외부 센서 혹은 계측장치로 생산장비의 갑작스런 결함을 실시간으로 발견하거나 공정 상황을 모니터링해 생산 신뢰성을 끌어올리는 일련의 기술 혹은 과정을 의미한다. 예를 들어 반도체 생산장비의 챔버 내 부산물 누적과 이로 인한 불량 발생 여부를 실시간으로 모니터링할 수 있다면 생산성을 높일 수 있다.


이날 워크숍에는 삼성전자 반도체사업부, 삼성디스플레이, LG디스플레이 등 국내 주요 반도체 디스플레이 업체의 공정 전문가가 나와 진단 기술 개발 현황과 적용 사례, 도전 과제를 소개한다. 명지대, 연세대, 서울대의 관련 학과 교수도 각각 공정진단 분야 발표가 예정돼 있다.


한주엽 반도체 전문기자 powerusr@etnews.com